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半导体制造过程中每一个环节都需要许多阀门和配套的解决方案,真空和气流的 高精度控制与隔离在半导体制造中至关重要,所有阀门都要保证在高循环次数及精确的可重复性。精确性主要体现在在规定时间内实现精确的体积流动,实现一致、可靠的密封。
从分类看,半导体阀主要包括隔膜阀,波纹管阀,真空阀,球阀,蝶阀,门阀,角阀,特氟龙阀门和其他,其中真空阀为主要的半导体阀类型,根据 QYR 数据,2020 年全球共消费了 82.36 万个真空阀,约占全球半导体阀市场的33.66%。
目前,半导体等领域的高纯气路管阀件的生产制造核心技术主要掌握在日本、美 国、瑞士等国家,国内目前生产的卫生级阀件主要用于食药,以及部分半导体领域,但与进口阀件存在较大差距。
目前,全球主要的半导体阀生产企业包括瑞士VAT、派克(Parker)、富士金(Fujikin)、CKD、世伟洛克、MKS、SMC Coporation、GEMÜ,Entegris 和 Festo 等。
根据 QY Research 数据,2020 年全球半导体阀市场营业额约为 12.3 亿美元,并预计到 2027 年将达到 19.6 亿美元,2021-2027 年复合增长率约为 6.07%。此外,2020 年,排名前三的半导体阀件厂商约占整个市场的 64%,呈现较高的集中度。
其中,VAT的营业额达539.94百万美元,占全球半导体阀总市场的 43.88%,其次 是派克,2020 年半导体阀营业额为 136.93 百万美元,市占率约为 11.13%。
瑞士 VAT 成立于 1965 年,是全球领先的高性能高端真空阀,多阀模块,边焊波 纹管及相关增值服务的开发商,制造商和供应商。该公司专注于设计和生产用于 半导体,显示器和太阳能电池板制造的真空阀,以及一系列工业和其他研究应用。根据立鼎产业研究网数据,VAT 在半导体真空阀领域市占率超过 65%。
美国派克汉尼汾(Parker)成立于1938 年,是全球运动和控制领域、产品种类zui完备的公司,是weiyi一家为客户提供液压、气动和机电一体化运动控制方案的 制造商。公司致力于提供yiliu的产品及用户服务,为各种汽车、工业和航空市场 提供精确设计的解决方案。
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